SAMCO

SAMCO Inc. ist ein Unternehmen, das Halbleiter und Materialien herstellt und verkauft. Das Unternehmen bietet in erster Linie Produkte für die Dünnschichtabscheidung, Mikrofabrikation, Reinigung und Oberflächenbehandlung an. Zu den Abscheidungssystemen gehören Anoden- und Kathoden-PECVD-Systeme, Atomlagenabscheidungssysteme und Systeme für die chemische Abscheidung aus der Gasphase von Siliziumkarbid (SiC). Zu den Ätzsystemen gehören reaktive Ionenätzsysteme, induktiv gekoppelte Plasmaätzsysteme (ICP) für allgemeine Zwecke, ICP-Ätzsysteme für das SiC-Ätzen, ICP-Ätzsysteme für die Stapelverarbeitung, reaktive Ionenätzsysteme für die Siliziumtiefe und XeF2-Ätzsysteme für die MEMS-Freisetzung. Das Unternehmen bietet auch Reinigungssysteme an, die aus Plasmareinigern, Plasmareinigern mit ferngesteuerter Quelle und UV-Ozon-Reinigern bestehen, sowie grundlegende Plasmaforschungs-Kits. Das Unternehmen bedient die Märkte für MEMS, Laserdioden, Hochleistungs-LEDs, TSV, SAW-Bauelemente und RF-Bauelemente. Das Unternehmen war früher unter dem Namen SAMCO International, Inc. bekannt und änderte im Dezember 2004 seinen Namen in SAMCO Inc. um. SAMCO Inc. wurde 1979 gegründet und hat seinen Hauptsitz in Kyoto, Japan.

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