SAMCO

SAMCO Inc. produkuje i sprzedaje oraz prowadzi działalność jako firma z sektora półprzewodników i materiałów. Firma oferuje głównie produkty do osadzania cienkich warstw, mikrofabrykacji, czyszczenia i obróbki powierzchni. Jej systemy osadzania obejmują systemy PECVD z anodą i katodą, systemy osadzania warstw atomowych (ALD) oraz systemy chemicznego osadzania z fazy gazowej węglika krzemu (SiC CVD); natomiast systemy trawienia obejmują systemy reaktywnego trawienia jonowego (RIE), systemy trawienia w plazmie indukcyjnie sprzężonej (ICP) do zastosowań ogólnych, systemy trawienia ICP do trawienia SiC, systemy trawienia ICP do przetwarzania wsadowego, systemy głębokiego reaktywnego trawienia jonowego krzemu oraz systemy trawienia XeF2 do uwalniania struktur MEMS. Firma oferuje także systemy czyszczenia, na które składają się czyszczarki plazmowe, czyszczarki plazmowe ze zdalnym źródłem oraz czyszczarki UV-ozonowe, a także podstawowe zestawy do badań nad plazmą. Obsługuje rynki MEMS, diod laserowych, diod LED o wysokiej jasności, TSV, urządzeń SAW oraz urządzeń RF. Firma działała wcześniej pod nazwą SAMCO International, Inc. i w grudniu 2004 roku zmieniła nazwę na SAMCO Inc. SAMCO Inc. została założona w 1979 roku i ma siedzibę w Kioto w Japonii.