Tokai Carbon Korea Co Ltd

Tokai Carbon Korea Co., Ltd. produziert und vertreibt verschiedene Teile und Komponenten für die Halbleiter-, Leuchtdioden- und Solarindustrie in Südkorea. Das Unternehmen bietet hochgereinigte Graphitkomponenten zur Verwendung in Heizern, Tiegeln, Gr-Schilden, Ringen, Reflektoren, Waferhaltern usw. sowie Platten und andere Produkte für Halbleiterfertigungsanlagen an. Darüber hinaus bietet das Unternehmen Wafer-Suszeptoren für LED-MOCVD- und Silizium-Epi-Reaktoren, einschließlich LED-Waferträger und ALD-Halbleiter- und Epi-Suszeptoren, sowie CVD-SiC-beschichtete Komponenten, die in SiC-Ringen, -Wafern und -Duschköpfen zur Verlängerung der Lebensdauer und Verbesserung der Ausbeute von Plasmaätzkammerteilen verwendet werden. Tokai Carbon Korea Co., Ltd. wurde 1996 gegründet und hat seinen Sitz in Anseong-si, Südkorea.

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